教育教学

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【发现成电】藏不住了,快来看看这门神仙创“芯”课程!
文:微视野工作室 冉丹、新闻中心 林坤 图:逆光摄影 魏珉熠、集成电路学院 谢章源 陈在泽、V豆短视频 王辰欣 来源:新闻中心 时间:2023-04-13 5323

你可能以为这只是一个

可可爱爱的熊猫钥匙扣

但仔细观察

图片里居然暗藏芯片!

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这些曾经登上微博热搜的

电子科大学子的“芯片”毕业礼物

是由集成电路设计与集成系统专业

大三的同学们

《IC综合实验Ⅰ》

亲手做出的作品

这也成为了该专业同学的毕业季的传统项目

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↑↑↑戳视频,走进微电子工艺实验室

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学起来,更要动起来!

如果你是一个小小芯片迷

微电子工艺实验系列课程可以满足你的全部幻想

集成电路科学与工程学院(示范性微电子学院)

微电子工艺实验室

承担学校相关专业的工艺实验

包括集成电路设计与集成系统专业

《IC综合实验Ⅰ》

微电子科学与工程专业和电子科学与技术专业

《微电子工艺实验》

以及格拉斯哥学院的《微纳工艺实验》

每一门大型综合性实验课程

给予相关专业的同学们

走进实验室、亲手操作的机会

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采用基于学习成果的教育模式

(Outcomes Based Education,OBE)

从设计到制造再到封装测试

对应

物理器件再到工艺

这门宝藏课程从三个层面带来不一般的体验

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拿起滴管,细致光刻

俯身观察显微镜下的奇妙景象

离子扩散,蒸发铝薄膜……

制造工艺流程中的每一步都是“重头戏”

同学们都一丝不苟、精益求精

进行一次工艺流程的沉浸式体验

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微电子工艺实验流程图

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备片

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氧化和离子扩散

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涂光刻胶

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软/硬烘焙

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对准&曝光

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除光刻胶&蚀刻

亲手做出自己集成电路职业生涯道路上

设计的第一颗芯片

简直不要太酷!!!

(此处省略100个激动的感叹号)

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有趣,更有“芯”

什么样的课堂最能深入人心?

一定是老师的热情能感染学生

学生能在探索中感受快乐的课堂

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任课老师注重课堂互动

引导学生建立工程上的感性认识

增强培养学生实践动手能力

让学生“动脑”“动手”“动口”

从而“动心”

把知识内化于心、外化于形

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小小芯片中的知识

丰富得远超想象

成品背后的故事

总是有趣得令人记忆深刻

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课程的结束从来不缺乏温度

示范性微电子学院首届毕业生

硬核又暖心的毕业礼

正是这枚嵌入2.8mm*2.8mm芯片的钥匙扣!

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同学们说:

  2020级格拉斯哥学院 魏珉熠:

  参加微纳工艺实验对我来说是一次非常有趣和富有挑战的经历!在实验室中,我学习了制作微米级别的晶体管的技术,包括使用光刻和蚀刻工艺制作芯片表面的图案,以及在高温下进行氧化和掺杂。我还学会了使用显微镜观察芯片的表面和结构,并学习了如何使用四探针法来检测晶体管的性能。

  在这个过程中,我注意到细节和精度的重要性,一个小错误就可能导致整个实验的失败。除了深入地了解了微纳加工的原理和过程以外,我也更加熟悉了实验室的工作环境。这是一次非常有价值的学习体验,激发了我继续深入学习微纳加工技术的兴趣,也让我更加热爱我的专业。

  2019级集成电路学院 管弘毅:

  在实验室的几天我看到了芯片制造过程的严谨性,理论知识上一个简单的参数在动手的时候却有着非常多的操作细节。老师们在动手操作前会带我们重温一遍相关的知识,也会在实验时非常耐心地在一旁指导我们操作,鼓励  我们自己动手,这让我对芯片制造这个过程有了一个更加具体的认识。

  这个实验给我们补完了集成电路设计、制造流程里面的最后一部分知识,也让我认识到了微电子器件的理论性能和实际产品之间存在着不小的差异,让我在后续做设计的过程中会更多的考虑如何制造的问题,这是仅仅学习理论知识无法带来的收获。

  2019级集成电路学院 吴思佳:

  我认为《 IC实验 I 》中的工艺实验课是我们集成电路专业中一门非常重要的专业实验课程,通过这门实验课程我也受益良多。大三上学期,在上完集成电路工艺相关课程,系统地了解与学习了相关工艺概念和先进制造方法之后,我们迫切地希望上手实践这些工艺流程,以收获更深刻的学习经验,而工艺实验课就是一个完美的平台。在老师们的悉心指导下,我们按照 CMOS 版图在四英寸晶圆上完成了氧化、光刻、刻蚀、扩散、蒸发铝、芯片测试等全流程工艺步骤,我们的专业水平也在实践中大大提升了。

  这门实验课也提升了我对待实验的专注和耐心程度。记得我们在测第一个片子的时候,组里的同学怎样都测不出理想曲线,很快便产生了气馁的情绪,一度以为是我们操作不当导致制片失败了。我们的指导老师王刚了解到了之后,非常耐心地帮助我们一点点调试仪器的引脚位置和参数设置,最后我们也成功测试出了较为理想的曲线,这也是给我留下最深刻印象的一件事。

“科技立则民族立,科技强则国家强”

成电在科学的道路上

遇见“芯”风景

更在新工科的道路上

探索开放、融合、创新的新发展!


编辑:赵海玲  / 审核:林坤  / 发布:陈伟